په سیمیکونډکیټر جوړښت کې، ګازونه ټول کار او لرګي کوي ټول پام ځانته اړوي. پداسې حال کې چې لښکرورونه د ویکیکون په اړه د اتصت لیږدونکي نمونې کوي، دا اوچي چې لومړی سیلیکون لري او د بشپړ سیوري کولو لپاره لیوالتیا د ګازونو لړۍ ده. دا د حیرانتیا خبره نده چې دا ګازونه، کوم چې د څو مرحلې پروسې له لارې د مایکرو محصولاتو رامینځته کولو لپاره کارول کیږي، لوړه خالص دي. سربیره پردې، ډیری یې نورې اندیښنې او محدودیتونه لري. ځینې ګازونه هوښیاري دي، نور یې له پامه غورځوي، او لاهم نور زهرجن دي.
په ټوله کې، دا محدودیتونه د سیمیک ډنډچر صنعت لپاره د ګاز توزیع سیسټم رامینځته کوي د پام وړ ننګونه. د موادو ځانګړتیاوې غوښتنه کوي. د موادو مشخصاتو سربیره، د ګاز توزیع صف د یو پیچلي سیسټمونو یو پیچلي بریښنایی پوښ دی. هغه چاپیریال چې په هغه کې چې دوی راټول شوي دي پیچلي او پراخه دي. نهایی جعل د نصب کولو پروسې برخې په سایټ کې ځای په ځای کیږي. د اوربیټاډي سولور د ګاز ویش اړتیاو عالي مشخصاتو کې مرسته کوي پداسې حال کې چې تولید کونکي ډیر سمبالول.
څنګه د سیمیک ټاپیکټر صنعت ګازس کاروي
د ګاز ویش سیسټم جوړولو پلان کولو دمخه، دا اړینه ده چې لږترلږه د سیمیکډیکتور تولیداتو اساسات پوه شي. په خپل اصلي، سیمیکټرکټورټټر په خورا کنټرول شوي ډول په سطح کې د محاسب سلایدونو ته ګازونه کاروي. دا زیرمه شوي سولیډونه بیا د اضافي ګازونو، لرګي، کیمیاوي اتومات او تودوخې په معرفي کولو سره تغیر کیږي. په پراخه پروسه کې مرحلې دي:
زیرمه: دا د شل اوریکلن وففر رامینځته کولو پروسه ده. د سیلیکون تاریخي ګازونه د خلا زیرمه زیرمه خونه کې پمپ شوي او د کیمیاوي یا فزیکي تعامل له لارې.
لیستولټولګرافي کول: د عکس برخه لرغونیو ته اشاره کوي. په لوړه کچه الټراویلټ لاین لیکنه (EUV) سپیکٹرم د لوړې مقرراتو چپس کولو لپاره کارول کیږي، د کاربن ډای اکسایډ لیزر په وافر کې د مایکرو مایکروسایډ لیټریشن لپاره کارول کیږي.
ETHing: د چاپیریال پروسې په جریان کې، د سیلیکون ګوټین کې د وایلجن - کاربن ګاز د سیلیکون سبسایډي کې ټاکل شوي توکي فعالولو او تحلیل لپاره ګومان کیږي. دا پروسه په مؤثره توګه د لیزر چاپ شوي سرکسي په سبسیم کې طبقه کوي.
ډوپ کولو: دا یو اضافي مرحله ده چې د هغه مناسب شرایطو ترسره کولو ته بدلون ورکوي د هغه مناسب شرایط مشخص کولو لپاره.
انډي کول: پدې پروسه کې، د Ver کسر ترمنځ غبرګونونه د لوړ فشار او تودوخې لخوا رامینځته کیږي. په لازمي ډول، دا د تیرو پروسې پایلې بشپړوي او په وافر کې یې نهایی مکلفر رامینځته کوي.
د چمچ او لاین پاکولو پاکول: ګازونه په تیرو مرحلو کې کارول کیږي، په ځانګړي توګه اتومات او ډنډ کول اکثرا زهرجن او خالصه دي. د همدې لپاره، د پروسې چیمند او د ګاز لینز خواړه باید دا اړتیا ولري چې د بندیز عکس العمل کمولو یا له مینځه وړو لپاره د غیر منظم کولو ګازونو ډک شي، او بیا د غیر فعال ګازونو کمولو یا بیا له مینځه وړل د بهرنی چاپیریال څخه د هر ډول ککړتیا ګاز مخنیوي لپاره ډک شي.
د سیمیک ډیوډیکټر صنعت کې د ګاز توزیع سیسټم اکثرا د ډیری مختلف ګازونو له امله پیچلي وي او د ګاز جریان، تودوخې او فشار سخت کنټرول چې باید د وخت په تیریدو سره باید ساتل کیږي. دا په پروسه کې د هر ګاز لپاره د الټرا - لوړې پاکوالي لخوا پیچلی دی. ګازونه په تیرو ګام کې کارول شوي باید د پروسې له لیکو او خټو څخه لرې شي یا له بل ډول بې طرفه شي مخکې لدې چې د پروسې راتلونکی ګام پیل شي. دا پدې مانا ده چې د ځانګړي شوي ټیوب سیسټم او د ساحلونو او ویښتو سیسټمونو ترمینځ مداخله د هغه د طبیعي ګازو رسولو او د اوبو تنظیم کونکو او تنظیم کولو سیسټمونو ترمینځ مداخله د مخنیوي لپاره ډیزاین شوې.
سربیره پردې، د سیستمونه او ځانګړي ګازونه به د پاکو چاپیریال او ځانګړي محدو سیمو کې د بې ځایه کیدلو په حالت کې د کومې خطرونو کمولو لپاره د لوی ګاز تحویلي سیسټمونو سره مجهز وي. په داسې پیچلي چاپیریال کې د دې ګاز سیسټمونه ویل کوم اسانه کار ندی. په هرصورت، د پاملرنې سره، توضیحاتو او سم تجهیزاتو ته پاملرنه وکړئ، دا دنده په بریالیتوب سره ترسره کیدی شي.
د سیمیډیکټر صنعت کې د ګاز توزیع توزیع کولو سیسټمونه
هغه توکي چې د سیمکیوډیکټر ګاز توزیع سیسټمونو کې کارول خورا بدلون لري. دوی کولی شي شیان لکه د ptfe شوي فلزي پایپونو او هوزونو په څیر شامل کړي ترڅو د خورا ناوړه ګازونو مقاومت وکړي. ترټولو عام توکي چې د سیمیکټکیټر صنعت کې د عمومي مقصد پاپ کولو لپاره کارول کیږي 316l سټینلیس فولاد دی - د ټیټ کاربن سټیل سټیل ټایر. کله چې دا د 316 په پرتله 316 سلل ته راځي، 316l د انحصار توب په وړاندې مقاومت لري. دا یو مهم غور دی کله چې د خورا معتبر غیر فعالینو او احتمالي ناکراره ګازونو سره معامله کوئ چې کولی شي کاربن ځان وساتي. ویلډینګ 316L سټینلیس سټیل لږ کاربن منشي خپروي. دا د ګران سرز لرونکي تخریب احتمال هم کموي، کوم چې کولی شي په ویلډونو او تودوخې اغیزمنو زون کې د غوړ کولو لامل شي.
د محصول کریسټینګ او ککړتیا احتمال کمولو لپاره، 316l سټینسټن ګاز پوښلي شیلډډ شوي ویلډ ریلونه د سیمیکینډکیټر صنعت کې معیار دی. د یوازینۍ ویلډینګ پروسه چې کنټرول چمتو کوي د پروسې پای ته رسولو کې د خالص پاک چاپیریال ساتلو لپاره اړین دي. اتوماتیک اوربین ویلډینګ یوازې د سیمیکینډکټر ګاز ویش کې شتون لري
د پوسټ وخت: جولای - 18-2023